A bulk silicon microelectromechanical system for scanning thermal profilometry
Edición de la obra A bulk silicon microelectromechanical system for scanning thermal profilometry
| Autor | Yogesh B. Gianchandani |
|---|---|
| Fecha de publicación | 1994 |
| Idioma | inglés |
| OCLC | 68797795 |
| Número de Cutter | G433b |