MEMSde Jan Korvink, Oliver PaulMateriasMicroelectromechanical systemsMicro-Electrical-Mechanical SystemsMicrosystèmes électromécaniquesTECHNOLOGY & ENGINEERINGMechanicalIngénierieMEMSEdiciones (4)MEMS (2019)Springer Berlin / Heidelberg · inglés · ISBN 9783662568354