VUV-Photo-CVD
untersuchungen zur Gasphasenabscheidung amorpher Halbleiter mit Hilfe einer externen VUV-Quelle
Edición de la obra VUV-Photo-CVD
| Autor | Friedrich Kessler |
|---|---|
| Fecha de publicación | 1994 |
| Idioma | alemán |
| Páginas | 121 |
| OCLC | 48001529 |
| Número de Cutter | K42v |