
Vsli Electronics Microstructure Science
Lithography for Vlsi (VLSI electronics)
Edición de la obra Vsli Electronics Microstructure Science
| Autor | Norman G. Einspruch |
|---|---|
| Editorial | Academic Pr |
| Fecha de publicación | September 1987 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 361 |
| ISBN-13 | 9780122341168 |
| ISBN-10 | 0122341163 |
| Número de Cutter | E35v |