
VLSI metallization
Edición de la obra VLSI metallization
| Autor | Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh Gildenblat |
|---|---|
| Editorial | Academic Press, Academic Pr |
| Fecha de publicación | 1987 |
| Lugar | Orlando |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 480 |
| ISBN-10 | 0122341155 |
| OCLC | 79191052 |
| LCCN | 86028744 |
| Serie |