Vlsi Electronics: Microstructure Science
Plasma Processing for Vlsi (V L S I Electronics)
Edición de la obra Vlsi Electronics: Microstructure Science
| Autor | Norman G. Einspruch |
|---|---|
| Editorial | Academic Pr |
| Fecha de publicación | June 1984 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 527 |
| ISBN-13 | 9780122341083 |
| ISBN-10 | 0122341082 |
| Número de Cutter | E35v |