Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces 2000 (Solid State Phenomena)
Edición de la obra Ultra clean processing of silicon surfaces 2000
| Autor | Paul Mertens, Marc Meuris |
|---|---|
| Editorial | Scitec Publications |
| Fecha de publicación | December 2000 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 321 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9783908450573 |
| ISBN-10 | 3908450578 |
| OCLC | 47072605 |
| Número de Cutter | M575u |