Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XVI
Edición de la obra Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XVI
| Autor | Paul Mertens, Antoine Pacco, Kurt Wostyn, Quoc Toan Le |
|---|---|
| Editorial | Trans Tech Publications, Limited |
| Fecha de publicación | 2023 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783036403120 |
| Número de Cutter | M575u |