Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIII
Edición de la obra Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIII
| Autor | Paul W. Mertens |
|---|---|
| Editorial | Trans Tech Publications, Limited |
| Fecha de publicación | 2016 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783035710847 |
| Número de Cutter | M575u |