Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XI
Edición de la obra Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XI
| Autor | Paul Mertens |
|---|---|
| Editorial | Trans Tech Publications, Limited |
| Fecha de publicación | 2013 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783037855270 |
| Número de Cutter | M575u |