Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces X
Edición de la obra Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces X
| Autor | Paul Mertens, Marc Meuris, Marc Heyns |
|---|---|
| Editorial | Trans Tech Publications, Limited |
| Fecha de publicación | 2012 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783038137009 |
| Número de Cutter | M575u |