Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII
Edición de la obra Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII
| Autor | Paul Mertens, Marc Meuris, Marc Heyns |
|---|---|
| Editorial | Trans Tech Publications, Limited |
| Fecha de publicación | 2007 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783038131953 |
| Número de Cutter | M575u |