Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII
Edición de la obra Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII
| Autor | Paul Mertens |
|---|---|
| Editorial | Trans Tech Publications, Limited |
| Fecha de publicación | 2008 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783908451464 |
| Número de Cutter | M575u |