Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces IX
Edición de la obra Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces IX
| Autor | Paul Mertens, Marc Meuris, Marc Heyns |
|---|---|
| Editorial | Trans Tech Publications, Limited |
| Fecha de publicación | 2009 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783038132820 |
| Número de Cutter | M575u |