ULSI process integration III
proceedings of the international symposium
Edición de la obra ULSI process integration III
| Autor | Cor L. Claeys |
|---|---|
| Editorial | Electrochemical Society |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Pennington, NJ |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 598 |
| ISBN-10 | 1566773768 |
| LCCN | 2003100866 |
| Serie | Proceedings ; · v. 2003-06 · Proceedings (Electrochemical Society) ; |
| Número de Cutter | C583u |