ULSI process integration
proceedings of the first international symposium
Edición de la obra ULSI process integration
| Autor | Cor L. Claeys |
|---|---|
| Editorial | Electrochemical Society |
| Fecha de publicación | 1999 |
| Lugar | Pennington, NJ |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 386 |
| ISBN-10 | 1566772419 |
| LCCN | 99066095 |
| Serie | Proceedings ; · v. 99-18 · Proceedings (Electrochemical Society) |
| Número de Cutter | C583u |