Surface scattering and diffraction for advanced metrology II
9 July, 2002, Seattle, Washington, USA
Edición de la obra Surface Scattering and Diffraction for Advanced Metrology II
| Autor | Zu-Han Gu, Alexei A. Maradudin |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2002 |
| Lugar | Bellingham, Washington |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 186 |
| ISBN-10 | 0819445479 |
| OCLC | 51110642 |
| LCCN | 2003535276 |
| Serie |