Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs
Edición de la obra Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs
| Autor | Katsumi Suzuki, Shinji Matsui |
|---|---|
| Editorial | Cambridge University Press |
| Fecha de publicación | November 10, 2005 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 341 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780521022347 |
| ISBN-10 | 0521022347 |
| OCLC | 137771867 |
| Número de Cutter | S968s |