Soft X-ray and EUV imaging systems
3-4 August 2000, San Diego, USA
Edición de la obra Soft X-ray and EUV imaging systems
| Autor | SPIE |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 178 |
| ISBN-10 | 0819437913 |
| OCLC | 45740667 |
| LCCN | 2001279325 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4146 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |