Silicon front-end technology--materials processing and modelling
Edición de la obra Silicon Front-End Technology Vol. 532
| Autor | Peter B. Griffin |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1998 |
| Lugar | Warrendale, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 228 |
| ISBN-10 | 1558994386 |
| OCLC | 39498652 |
| LCCN | 98034108 |
| Serie | Materials Research Society symposium proceedings ; · v. 532 · Materials Research Socisty symposia ; |
| Número de Cutter |