Si front-end processing
physics and technology of dopant-defect interactions II : Symposium held April 24-27, 2000, San Francisco, California, USA
Edición de la obra Si front-end processing
| Autor | Aditya Agarwal, Lourdes Pelaz, Hong-Ha Vuong, Paul A. Packan, Masataka Kase |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 2001 |
| Lugar | Warrendale, Pa |
| Idioma | inglés |
| ISBN-10 | 1558995188 |
| OCLC |