Semiconductor Micromachining, Techniques and Industrial Applications
Edición de la obra Semiconductor Micromachining 2-Volume Set
| Autor | S. A. Campbell |
|---|---|
| Editorial | Wiley |
| Fecha de publicación | April 1998 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 406 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780471966821 |
| ISBN-10 | 0471966827 |
| Número de Cutter | C191s |