Semiconductor micromachining
Edición de la obra Semiconductor Micromachining 2-Volume Set
| Autor | S. A. Campbell |
|---|---|
| Editorial | Wiley |
| Fecha de publicación | 1998 |
| Lugar | Chichester, England, New York |
| Idioma | inglés |
| ISBN-10 | 0471966819, 0471966827, 0471980846 |
| OCLC | 37180970 |
| LCCN | 97026052 |
| Número de Cutter | C191s |