
Resonant MEMS
Fundamentals, Implementation and Application
Edición de la obra Resonant MEMS
| Autor | Oliver Brand, Fabien Josse, Stephen D. Heinrich, Jan G. Korvink, Osamu Tabata |
|---|---|
| Editorial | Wiley-VCH Verlag GmbH |
| Fecha de publicación | 2015 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 512 |
| ISBN-13 | 9783527335459 |
| Número de Cutter | B817r |