Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography
Edición de la obra Resolution enhancement techniques in optical lithography
| Autor | Alfred Kwok-Kit Wong |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2001 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9780819478818 |
| Número de Cutter | W872r |