Reliability of MEMS
Testing of Materials and Devices
Edición de la obra Reliability of MEMS
| Autor | Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold |
|---|---|
| Editorial | Wiley & Sons, Incorporated, John |
| Fecha de publicación | 2013 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 324 |
| ISBN-13 | 9783527675036 |
| Número de Cutter |