Reliability of MEMS
Testing of Materials and Devices
Edición de la obra Reliability of MEMS
| Autor | Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya |
|---|---|
| Editorial | Wiley & Sons, Limited, John |
| Fecha de publicación | 2008 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 324 |
| ISBN-13 | 9783527622139 |
| Número de Cutter |