Reliability of MEMS
Testing of Materials and Devices
Edición de la obra Reliability of MEMS
| Autor | Osamu Tabata, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Toshiyuki Tsuchiya, Christofer Hierold |
|---|---|
| Editorial | Wiley-VCH Verlag GmbH |
| Fecha de publicación | 2013 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 324 |
| ISBN-13 | 9783527335015 |
| Número de Cutter | T112r |