Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices
Edición de la obra Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices
| Autor | H. Fukuda |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science |
| Fecha de publicación | April 2, 2003 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 160 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780444513397 |
| ISBN-10 | 0444513396 |
| LCCN | 2003271753 |
| Número de Cutter | F961r |