Pulsed and Pulsed Bias Sputtering
Principles and Applications
Edición de la obra Pulsed and pulsed bias sputtering
| Autor | Edward V. Barnat, Toh-Ming Lu |
|---|---|
| Editorial | Springer |
| Fecha de publicación | September 30, 2003 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 176 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9781402075438 |
| ISBN-10 | 140207543X |
| Número de Cutter | B259p |