Pulsed and Pulsed Bias Sputtering
Principles and Applications
Edición de la obra Pulsed and pulsed bias sputtering
| Autor | Edward V. Barnat, Toh-Ming Lu |
|---|---|
| Editorial | Springer London, Limited |
| Fecha de publicación | 2013 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 157 |
| ISBN-13 | 9781461504115 |
| Número de Cutter | B259p |