Pulsed and Pulsed Bias Sputtering
Principles and Applications
Edición de la obra Pulsed and pulsed bias sputtering
| Autor | Edward V. Barnat, Toh-Ming Lu |
|---|---|
| Editorial | Springer |
| Fecha de publicación | Sep 01, 2011 |
| Páginas | 172 |
| Formato | paperback |
| ISBN-13 | 9781461504122 |
| ISBN-10 | 1461504120 |
| Número de Cutter | B259p |