Pulsed and pulsed bias sputtering
principles and applications
Edición de la obra Pulsed and pulsed bias sputtering
| Autor | Edward V. Barnat |
|---|---|
| Editorial | Kluwer Academic |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Boston |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 155 |
| ISBN-10 | 140207543X |
| LCCN | 2003054987 |
| Número de Cutter | B259p |