Processing of semiconductors
Edición de la obra Materials Science and Technology
| Autor | Kenneth A. Jackson |
|---|---|
| Editorial | VCH |
| Fecha de publicación | 1996 |
| Lugar | Weinheim, New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 689 |
| ISBN-10 | 3527268294 |
| Serie | Materials science and technology -- 16 · Materials science and technology (Weinheim an der Bergstrasse, Germany) -- v. 16. |
| Número de Cutter | J13p |