Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing I (Proceedings)
Edición de la obra Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing I (Proceedings)
| Autor | M. Meyyappan |
|---|---|
| Editorial | Electrochemical Society |
| Fecha de publicación | May 1995 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 629 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9781566770965 |
| ISBN-10 | 1566770963 |
| Número de Cutter | M616p |