Precision nanometrology
sensors and measuring systems for nanomanufacturing
Edición de la obra Precision nanometrology
| Autor | Gao, Wei Ph. D. |
|---|---|
| Editorial | Springer |
| Fecha de publicación | 2010 |
| Lugar | London, New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 354 |
| ISBN-13 | 9781849962537, 9781849962544 |
| ISBN-10 | 1849962537, 1849962545 |
| OCLC | 615914498 |
| LCCN | 2010929852 |
| Serie | Springer series in advanced manufacturing · Springer series in advanced manufacturing |