Plasma Processing
Symposium Held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, USA (Materials Research Soc Symposia Proceedings, Vol 68)
Edición de la obra Plasma Processing
| Autor | J. W. Coburn |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | July 1986 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 463 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780931837340 |
| ISBN-10 | 0931837340 |
| Número de Cutter | C658p |