Plasma processing
symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.
Edición de la obra Plasma Processing
| Autor | J. W. Coburn |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1986 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 463 |
| ISBN-10 | 0931837340 |
| OCLC | 13795753 |
| LCCN | 86016292 |
| Serie | Materials Research Society symposia proceedings, · v. 68 |
| Número de Cutter | C658p |