Plasma etching
an introduction
Edición de la obra Plasma Etching
| Autor | Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm |
|---|---|
| Editorial | Academic Press |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Lugar | Boston |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 476 |
| ISBN-10 | 0124693709 |
| OCLC | 17384997 |
| LCCN | 87037419 |
| Serie | Plasma -- materials interactions |
| Número de Cutter |