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Optical Microlithography XXVII

Name: Optical Microlithography XXVII
ISBN: 9780819499752

25-27 February 2014

Autor	Kafai Lai, Andreas Erdmann, SPIE
Editorial	SPIE
Fecha de publicación	2014
Idioma	inglés
Páginas	762
ISBN-13	9780819499752
LCCN	2014412914
Número de Cutter	`L185o`

Optical Microlithography XXVII (2014) — ISBN 9780819499752 | Cutter Number