Optical microlithography XVIII
1-4 March, 2005, San Jose, California, USA
Edición de la obra Optical microlithography XVIII
| Autor | Bruce Smith |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2005 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| ISBN-10 | 0819457345 |
| OCLC | 60502478 |
| LCCN | 2005283128 |
| Serie | Proceedings of SPIE, · v. 5754 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter | S643o |