Optical microlithography XVII
24-27 February 2004, Santa Clara, California, USA
Edición de la obra Optical microlithography XVII
| Autor | Bruce Smith |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2004 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 2008 |
| ISBN-10 | 0819452904 |
| OCLC | 55858298 |
| LCCN | 2004304500 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 5377 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |