Optical/laser microlithography VIII
22-24 February 1995, Santa Clara, California
Edición de la obra Optical Laser Microlithography VIII
| Autor | Brunner |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1995 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 948 |
| ISBN-10 | 0819417882 |
| OCLC | 32689495 |
| LCCN | 94069903 |
| Serie | Proceedings / SPIE--the International Society for Optical Engineering -- v. 2440 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering -- v. 2440. |
| Número de Cutter |