
Optical Laser Microlithography VIII
Edición de la obra Optical Laser Microlithography VIII
| Autor | Brunner |
|---|---|
| Editorial | Society of Photo Optical |
| Fecha de publicación | June 1995 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 948 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780819417886 |
| ISBN-10 | 0819417882 |
| OCLC | 32689495 |
| LCCN | 94069903 |
| Número de Cutter | B897o |