Optical Laser Microlithography Vii/V2197
Edición de la obra Optical Laser Microlithography Vii/V2197
| Autor | Brunner |
|---|---|
| Editorial | Society of Photo Optical, SPIE--the International Society for Optical Engineering |
| Fecha de publicación | February 1994 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 1008 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780819414922 |
| ISBN-10 | 0819414921 |
| OCLC | 30602250 |
| LCCN | 94065792 |
| Número de Cutter | B897o |