Optical/laser microlithography VII
2-4 March 1994, San Jose, California
Edición de la obra Optical Laser Microlithography Vii/V2197
| Autor | Brunner |
|---|---|
| Editorial | SPIE--the International Society for Optical Engineering |
| Fecha de publicación | 1994 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 1008 |
| ISBN-10 | 0819414921 |
| LCCN | 94065792 |
| Serie | SPIE proceedings -- . 2197 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering -- v. 2197. |
| Número de Cutter | B897o |