Optical imaging in projection microlithography
Edición de la obra Optical imaging in projection microlithography
| Autor | Alfred Kwok-Kit Wong |
|---|---|
| Editorial | SPIE Press |
| Fecha de publicación | 2005 |
| Lugar | Bellingham, WA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 254 |
| ISBN-10 | 0819458295 |
| LCCN | 2005042537 |
| Serie | Tutorial texts in optical engineering -- v. TT 66 |
| Número de Cutter | W872o |