Nanolithography
The Art of Fabricating Nanoelectronic and Nanophotonic Devices and Systems
Edición de la obra Nanolithography
| Autor | M. Feldman |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology |
| Fecha de publicación | 2014 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 599 |
| ISBN-13 | 9781306448048 |
| Número de Cutter | F312n |