Nanolithography
The Art of Fabricating Nanoelectronic and Nanophotonic Devices and Systems
Edición de la obra Nanolithography
| Autor | Martin Feldman |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology |
| Fecha de publicación | 2017 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9780081014042 |
| Número de Cutter | F312n |