Nanofabrication technologies and device integration
13-14 April 1994, Lindau, FRG
Edición de la obra Nanofabrication technologies and device integration
| Autor | Wolfgang Karthe |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1994 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 334 |
| ISBN-10 | 0819415170 |
| OCLC | 30930657 |
| LCCN | 94065766 |
| Serie | EurOpt series · SPIE proceedings series ; · v. 2213 |
| Número de Cutter |